| Матариал | Степень термостойкости | Свойство | Назначение |
| PFA Кассета | 200~220℃ | Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивая к сильным основаниям | Для кислотного и базового процесса |
| Мателлическая кассета | * | Высокотемпературная резистентность | Для базового процесса передачи |
| PP Кассета | 40~60℃ | Плюсы: легкий вес, возможность сварки. Минусы: легко искажается |
|
| PEEK Кассета | 120℃ | Высокая твердость, сложно деформируется, устойчива к высоким температурам | |
| PC Кассета | 80~100℃ | Легкий вес, возможность сварки | |
| PEI Кассета | 130~150℃ | Износостойкая, антистатическая |
Коробка для пластин может защитить пластину от повреждения с помощью губчатой пластины, способной хранить много пластин.
Коробка для пластин может защитить пластину от повреждения с помощью губчатой пластины, способной хранить много пластин.
PEEK Cassette-Для базового процесса. Контейнер для загрузки вафель. Не легко исказить и высокую твердость. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
PEEK Cassette-Для базового процесса. Контейнер для загрузки вафель. Не легко исказить и высокую твердость. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.