| Матариал | Степень термостойкости | Свойство | Назначение |
| PFA Кассета | 200~220℃ | Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивая к сильным основаниям | Для кислотного и базового процесса |
| Мателлическая кассета | * | Высокотемпературная резистентность | Для базового процесса передачи |
| PP Кассета | 40~60℃ | Плюсы: легкий вес, возможность сварки. Минусы: легко искажается |
|
| PEEK Кассета | 120℃ | Высокая твердость, сложно деформируется, устойчива к высоким температурам | |
| PC Кассета | 80~100℃ | Легкий вес, возможность сварки | |
| PEI Кассета | 130~150℃ | Износостойкая, антистатическая |
Пластиковая рамка / пластиновая рамка / кольцо для пластины может поставляться с машиной для резки или полировки пластин, способной к отправке после резки. Специальный дизайн материала обеспечивает такие преимущества, как легкость и антистатические свойства.
Пластиковая рамка / пластиновая рамка / кольцо для пластины может поставляться с машиной для резки или полировки пластин, способной к отправке после резки. Специальный дизайн материала обеспечивает такие преимущества, как легкость и антистатические свойства.
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.
PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.