Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
| Матариал | Степень термостойкости | Свойство | Назначение |
| PFA Кассета | 200~220℃ | Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивая к сильным основаниям | Для кислотного и базового процесса |
| PP Кассета | 40~60℃ | Плюсы: легкий вес, возможность сварки. Минусы: легко искажается |
Для базового процесса передачи |
| PEEK Кассета | 120℃ | Высокая твердость, сложно деформируется, устойчива к высоким температурам | |
| PC Кассета | 80~100℃ | Легкий вес, возможность сварки | |
| PEI Кассета | 130~150℃ | Износостойкая, антистатическая |
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
Металлическая рама / Рамка для пластин / Пластинное кольцо могут поставляться с машиной для резки или полировки пластин, готовый к отправке после резки. Металлический каркас можно использовать с синей лентой, можно многократно использовать после стирке.
Металлическая рама / Рамка для пластин / Пластинное кольцо могут поставляться с машиной для резки или полировки пластин, готовый к отправке после резки. Металлический каркас можно использовать с синей лентой, можно многократно использовать после стирке.
Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.