Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
| Матариал | Степень термостойкости | Свойство | Назначение |
| PFA Кассета | 200~220℃ | Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивая к сильным основаниям | Для кислотного и базового процесса |
| PP Кассета | 40~60℃ | Плюсы: легкий вес, возможность сварки. Минусы: легко искажается |
Для базового процесса передачи |
| PEEK Кассета | 120℃ | Высокая твердость, сложно деформируется, устойчива к высоким температурам | |
| PC Кассета | 80~100℃ | Легкий вес, возможность сварки | |
| PEI Кассета | 130~150℃ | Износостойкая, антистатическая |
Кассета с металлическим каркасом Антистатический материал, легкий, герметичный дизайн для защиты пластин. Защитите одну рамку для пластины и избегайте повреждений. Используется для передачи между процессами, нельзя использовать в химическом процессе.
Кассета с металлическим каркасом Антистатический материал, легкий, герметичный дизайн для защиты пластин. Защитите одну рамку для пластины и избегайте повреждений. Используется для передачи между процессами, нельзя использовать в химическом процессе.
Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
