PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.

Выберите кассету:
| Матариал | Степень термостойкости | Свойство | Назначение |
| PFA Кассета | 200~220℃ | Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивая к сильным основаниям | Для кислотного и базового процесса |
| PP Кассета | 40~60℃ | Плюсы: легкий вес, возможность сварки. Минусы: легко искажается |
Для базового процесса передачи |
| PEEK Кассета | 120℃ | Высокая твердость, сложно деформируется, устойчива к высоким температурам | |
| PC Кассета | 80~100℃ | Легкий вес, возможность сварки | |
| PEI Кассета | 130~150℃ | Износостойкая, антистатическая |
OTH кассета для легких рамок Применяется в процессе монтажа полупроводника, используется для загрузки и крепления металлической рамы с пластиной. Антистатический материал, легкий, воздухонепроницаемый дизайн предназначены для изоляции и защиты пластины, которая используется для передачи, хранения и защиты сборки пластины для каждого процесса, совместимого с AMHS.
OTH кассета для легких рамок Применяется в процессе монтажа полупроводника, используется для загрузки и крепления металлической рамы с пластиной. Антистатический материал, легкий, воздухонепроницаемый дизайн предназначены для изоляции и защиты пластины, которая используется для передачи, хранения и защиты сборки пластины для каждого процесса, совместимого с AMHS.
Металлическая рама / Рамка для пластин / Пластинное кольцо могут поставляться с машиной для резки или полировки пластин, готовый к отправке после резки. Металлический каркас можно использовать с синей лентой, можно многократно использовать после стирке.
Металлическая рама / Рамка для пластин / Пластинное кольцо могут поставляться с машиной для резки или полировки пластин, готовый к отправке после резки. Металлический каркас можно использовать с синей лентой, можно многократно использовать после стирке.
300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.
300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.