МИНАТЕХ поставил и внедрил 3D профилометр-конфокальный микроскоп S neox от SENSOFAR

В ИФП СО РАН, Новосибирск внедрен 3D оптичеcкий профилометр-конфокальный микроскоп S neox с автоматическим моторизованным столом 154х154 мм для картирования и сшивки производства фирмы SENSOFAR-TECH (Испания). Прибор дополнительно оснащен мощным программным обеспечением SensoMAP и специальными утилитами для анализа и подсчета дефектов.

Прибор предназначен для изучения и анализа дефектов на кремниевых подложках после МЛЭ. Так же есть возможность картирования образца, в автоматическом режиме проводить подсчет дефектов на изучаемом поле, отсеивать дефекты по форме, размеру и высоте с выводом полного отчета в файл и на печать. Отчеты после работы могут формироваться в полностью автоматическом режиме по заданному оператором рецепту.

S neox производства SENSOFAR (Испания) - новый 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп. S neox новое слово в оптической 3D профилометрии. S neox объединил в себе все существующие технологии в оптической профилометрии. Прибор объединяет в одной сенсорной головке технологии конфокальной микроскопии и интерферометрии без каких либо движущихся частей.
Максимальное разрешение по оси Z - 0.5 нм! Подробнее...

Технологическое оборудование

Свернуть

Аналитическое оборудование и метрология

Свернуть

Обеспечение
производства

Свернуть

Новости

Все новости

МИНАТЕХ завершил поставку и внедрение спектроскопического эллипсометра от Ellitop

Подробнее

МИНАТЕХ произвел поставку и запуск системы плазменной обработки COVANCE от FEMTO SCIENCE (Р. Корея)

Подробнее

МИНАТЕХ завершил поставку и внедрение двух спектроскопических эллипсометров от Ellitop

Подробнее

МИНАТЕХ завершил поставку и запуск двух настольных электронных микроскопов CUBE II от EmCrafts (Корея)

Подробнее

МИНАТЕХ завершил поставку двух центрифуг модели SPIN-1200T

Подробнее

МИНАТЕХ произвел поставку настольной платформы с активной виброизоляцией фирмы DAEIL SYSTEMS (Корея)

Подробнее