МИНАТЕХ поставил и внедрил сканирующий рефлектометр RM1000

МИНАТЕХ поставил и произвел запуск и ввод в эксплуатацию спектроскопического сканирующего рефлектомерта RM1000 для измерения толщин тонких пленок на кремнии фирмы SENTECH Instruments GmbH (Германия).

Рефлектометр оснащен сканирующим столиком с ходом 200х200 мм для измерения толщины тонких пленок и латерального распределения толщины на пластине диаметром до 200мм. Прибор имеет спектральный диапазон 430-930 нм, что позволяет измерять пленки в диапазоне от 20 до 25000 нм. Диаметр пятна 80 мкм.

Прибор предназначен для измерение одно- и многослойных оптических пленок в производстве и исследовании полупроводников.

Подробнее о приборе можно прочитать по ссылке