На предприятии Роскосмоса проведено комплексное сервисное обслуживание и дооснащение установки плазменного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 производства от SENTECH Instruments GmbH (Германия).
На установке плазмо-химического травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) введена в эксплуатацию аналитическая система Endpoint Detector на основе лазерного интерферометра, для определения скорости травления, глубины травления и точки окончания процесса травления, модели SLI 670 фирмы SENTECH Instruments. Проведено дооснащение лайнерами для быстрой очистки камеры реактора, из различных материалов, для более «чистых» процессов. А также проведено комплексное сервисное обслуживание, замена изнашиваемых частей установки, замена вакуумной арматуры.
Новости
Все новости
МИНАТЕХ завершил поставку и внедрение спектроскопического эллипсометра от Ellitop
Подробнее
МИНАТЕХ произвел поставку и запуск системы плазменной обработки COVANCE от FEMTO SCIENCE (Р. Корея)
Подробнее
МИНАТЕХ завершил поставку и внедрение двух спектроскопических эллипсометров от Ellitop
Подробнее
МИНАТЕХ завершил поставку и запуск двух настольных электронных микроскопов CUBE II от EmCrafts (Корея)
Подробнее
МИНАТЕХ завершил поставку двух центрифуг модели SPIN-1200T
Подробнее
МИНАТЕХ произвел поставку настольной платформы с активной виброизоляцией фирмы DAEIL SYSTEMS (Корея)
Подробнее
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
