NEW! - MLA300 - установка безмасковой литографии для производства

HEIDELBERG INSTRUMENTS анонсировал новую установку безмаскового совмещения и экспонирования (безмасковой литографии) модели MLA300 для серийного производства.

MLA300 предназначена для решения задач, требующих высокой производительности и может заменить автоматическую установку совмещения и экспонирования на производстве.

MLA300 автоматизирована и оснащена роботом-загрузчиком и портами загрузки, а также программное обеспечение, специально разработанное для производственной среды и предлагающее упрощенный автоматизированный рабочий процесс.

Преимущества установки в стоимости владения и отсутствии фотошаблонного хозяйства на производстве.

• Минимальный топологический размер до 1,5 мкм.
• Минимальный размер линии для периодической структуры [half pitch, мкм] - 2,0 мкм
• Область экспонирования до 300 х 300 мм
• Точность совмещения, [3σ, нм] - 500 нм.
• Точность совмещения по обратной стороне - BSA, [3σ, нм] - 1000 нм.
• Скорость экспонирования 5000 мм2/мин на длине волны 405 нм и одним модулем экспонирования
• Автофокус в реальном времени
• Совмещение по верхней и нижней стороне пластины
• Контроль климата
• Источники 405 и/или 375 нм

Подробнее о характеристиках можно узнать пройдя по ссылке.