Поставка и наладка установки быстрого термического отжига пластин AS-MASTER от ANNEALSYS

В одном из ведущих предприятий микроэлектроники в России специалистами МИНАТЕХ произведена поставка, инсталляция установки быстрого термического отжига пластин AS-MASTER от ANNEALSYS (Франция). Также нашими инженерами произведена отладка процесса и сдача процесса  по ТЗ закзачика. 
Установка предназначена для процессов быстрого термического отжига полупроводниковых платин диаметром до 200мм в при температуре до 1250 oC в вакууме с подачей различных газов. 
Установка предназначена для процесса постиплантационного отжига и разгонки легирующей примеси.

Подробнее о серии установок AS-MASTER по ссылке.