В Москве запущена первая в России настольная установка безмасковой литографии µMLA от Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

В Москве запущена первая в России настольная установка безмасковой литографии µMLA от Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. 

Компания "МИНАТЕХ" рада сообщить о поставке и вводе в эксплуатацию силами сервисной службы в Москве первой в России настольной установки безмасковой литографии модели µMLA производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия) с LED источником 390 нм и модулем растрового экспонирования с минимальным топологическим размером в 1 мкм., точность совмещения 1000 нм. Установка применяется в изготовлении фотошаблонов и прямом формировании изображения по фоторезисту на полупроводниковых пластинах.

Подробнее о серии установок µMLA по ссылке.