Микроскоп проходящего и отраженного света Nexcope серии NX
Инспекционные микроскопы Nexcope NX600/ NX800 / NX1000 предназначены для изучения и контроля качества интегральных схем.
NX600R - изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом освещении. NX600TR - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм при эпископическом и диаскопическом освещении.
NX800R - изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом освещении. NX800TR - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом и диаскопическом освещении.
NX1000R/NX1000TR - изучение полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм при эпископическом освещении. NX1000TR - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм при эпископическом и диаскопическом освещении.
Максимальный размер образца: 300 х 300 мм.
Наблюдение образцов можно проводить в проходящем и отраженном свете.
Объективы: 5х, 10х, 20х, 50х, 100х
Идеальное решение для контроля полупроводниковых пластин и фотошаблонов как в произвосдтве так и в процессе исследований.
В сочетании с передовой оптической системой и новой системой освещения данные микроскопы обеспечивают получение изображений великолепной контрастности, высокого разрешении.
Возможные методы исследования:
Светлое поле
Темное поле
ДИК
Применение:
Антенны, Телекоммуникации и электроника, Полупроводниковые пластины, Фотошаблоны, Оптические телескопические системы, Мобильные телефоны, бритвы и часы.
Предотвращение загрязнения: На корпус данных микроскопов нанесено специальное антистатическое покрытие, чтобы предотвратить попадание на микроскоп посторонних частиц. Кроме того, в моторизованном револьвере объективов используется расположенный по центру экранированный мотор, который удерживает посторонние частицы внутри и предотвращает их попадание на образец.
Фиксированная позиция ручки перемещения столика по осям X-Y: Механизмы управления для точного перемещения по осям X-Y остаются в одном и том же положении близко к передней части, что обеспечивает оптимальное положение глаз и удобную рабочую позу оператора независимо от положения предметного столика. Кроме того, эти элементы управления, а также рукоятка фокусировка расположены близко друг к другу, поэтому вы можете осуществлять управление одной рукой.
Микроскоп NX позволяет осуществлять наблюдения при диаскопическим освещении с использованием различных методик: светлое и темное поле, простая поляризация и DIC (дифференциально-интерференционный контраст).
Опционально моторизованный револьвер объективов с программным управлением: Микроскопы серии NX могут быть оснащены встроенным моторизованным револьвером объективов, который обладает слотом для ДИК-насадки. Кроме механического механизма click-stop данный револьвер может управляться программными средствами, чтобы останавливаться точно в положении каждого объектива. Усовершенствованная точность также значительно увеличивает долговечность револьвера. Кроме того, при вращении револьвера освещение на мгновение выключается, чтобы защитить глаза оператора.
Высокоинтенсивный свет галогенных ламп: Высокоинтенсивный LED осветитель обеспечивает более высокую яркость.
Конструкция соответствует стандарту SEMI; механизмы управления и кнопки расположены снизу, близко к оператору, в то время как выходной зрачок расположен на оптимальной для удобства работы высоте. Благодаря удобному расположению элементов управления на передней части микроскопа движение рук сведено к минимуму, что позволяет оператору сконцентрироваться на процессе контроля качества. Окуляр приближен к оператору, так что он может принять более прямую сидячую позу. Благодаря этому оператор также располагается дальше от предметного столика, что обеспечивает более эргономичное и безопасное положение наблюдения.
Оптическая система обеспечивает потрясающе четкие, контрастные изображения с более длинными рабочими расстояниями, высокими числовыми апертурами и минимумом засветок. Отношения сигнал/шум во время наблюдений по методу темного поля в три раза лучше, чем ранее, что позволяет получить выдающиеся высококонтрастные изображения, идеальные для высокоточных наблюдений.
Предметные столик:
Столик 6 х 6 (NX600), Диапазон перемещений: 160 х 160 мм; возможно переключение между режимами грубого/точного перемещения; фиксированная позиция ручки перемещения столика по осям X-Y.
Столик 8 х 8 (NX800); Диапазон перемещений: 210 х 210 мм; возможно переключение между режимами грубого/точного перемещения; фиксированная позиция ручки перемещения столика по осям X-Y.
Программное обеспечение для анализа изображений и линейнгых измерений.
Управление моторизированными узлами микроскопа
получения изображений
анализ изображений и обработка
| NX600R / NX600TR | NX800R / NX800TR | |
| Корпус | Встроенный источник питания с LED осветителем; Ручное или моторизированное управление револьверной головкой, контроль яркости освещения, управление апертурной диафрагмой Револьверная головка: моторизированная универсальная на шесть объективов |
Встроенный источник питания с LED осветителем; Ручное или моторизированное управление револьверной головкой, контроль яркости освещения, управление апертурной диафрагмой Револьверная головка: моторизированная универсальная на шесть объективов |
| Фокусировка | Ход фокусировки: 32 мм Точная фокусировка: шаг 1 мкм |
Ход фокусировки: 32 мм Точная фокусировка: шаг 1 мкм |
| Револьверы объективов |
Фиксированный ручной или моторизованный шестиместный универсальный револьвер объективов; имеется слот для ДИК-насадки |
Фиксированный ручной или моторизованный шестиместный универсальный револьвер объективов; имеется слот для ДИК-насадки |
| Эпископический осветитель | Встроенная LED осветитель 3 Вт. Фильтры (ND6, ND25), синий, зеленый и желтый фильтры, с возможностью установки поляризатора и анализатора |
Встроенная LED осветитель 5 Вт. Фильтры (ND6, ND25), синий, зеленый и желтый фильтры, с возможностью установки поляризатора и анализатора |
| Окулярный тубус | наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30°) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/0:100 |
наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30°) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/0:100 |
| Предметный столик | Столик 6x6, перемещение: 160 x 160 мм Возможность грубого и точного перемещения Контроль перемещения по оси X-Y (с фиксированным положением) |
Столик 8x8, перемещение: 210 x 210 мм Возможность грубого и точного перемещения Контроль перемещения по оси X-Y (с фиксированным положением) |
| Окуляры | Линзы окуляров серии CW10/22 | Линзы окуляров серии CW10/25 |
| Объектив | SEMI-APO и APO | SEMI-APO и APO |
| Увеличение | 50х - 1000х | 50х - 1000х |
| Виброизоляция | 1000-10 В, в теч. 0,2 сек | |
| Энергопотребление | 220В, 50Гц | 220В, 50 Гц |