DuPont® IC1000™ полировальная подушка для планаризации
Промышленный стандарт для химико-механической планаризации
Подушки IC1000 ™ - это стандартные полировальные круги для химико-механической планаризации (CMP). Полировальная подушка IC1000 изготовлена из жесткого микропористого полиуретанового материала. Эти свойства позволяют подушке IC1000 обеспечивать локализованное выравнивание, отличную скорость съема, низкую глобальную неоднородность и низкий уровень дефектов. Подушечки IC1000 эффективно работают с суспензиями и кондиционерами, чтобы оптимизировать производительность CMP в процессах производства вольфрама, меди, ILD, STI и поликремния.
Конфигурация продукта
Толщина
Стандартная толщина подушки IC1000 составляет 50 мил (1,27 мм), но также предлагается толщина 80 мил (~2,0 мм), если требуется более жесткая подложка.
Окно определение окончания процесса
Подушки (сукна) IC1000 предлагаются с прозрачным уретановым окном для использования технологии оптических оконечных устройств в передовых инструментах CMP. Усовершенствованные оптические контактные площадки для оконечных устройств имеют окно, которое прикреплено к контактной площадке IC1000 для предотвращения утечки суспензии и расслоения окон во всех процессах CMP.
Канавки (проточки) сукна.
Подушка IC1000 предлагается с широким разнообразием рисунков канавок на поверхности сукна. Проконсультируйтесь с вашим местным представителем по поводу шаблона, который будет соответствовать потребностям ваших приложений CMP.
Область применения: берилий, германий, фосфид индия (InP), никель, поликремний (PolySi), сапфир, карбид кремния (SiC), вольфрам, селенид цинка (ZnSe).
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| Полиуретан | 2,25% | 57 | Shore D | 0,05" (1.27мм) |
SUBA™ 500
Пропитанная полиуретаном войлочная подушка из полиэстера
Полировальные подушки Suba представляют собой войлок из полиэстера, пропитанного полиуретаном. Они специально разработаны для базового и промежуточного полирования, когда критически важно достижение высокой точности поверхности.
Применение: Берилий, аморфный кварц, фосфид индия (InP), ниобат лития (LiNbO3), Танталат лития (LiTaO3), кремний (Si), нержавеющая сталь, вольфрам (W), зеродур
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| войлок | 13% | 55 | Shore D | 0,050" (1,27 мм) |
SUBA™ 500
Пропитанная полиуретаном войлочная подушка из полиэстера
Полировальные подушки Suba представляют собой войлок из полиэстера, пропитанного полиуретаном. Они специально разработаны для базового и промежуточного полирования, когда критически важно достижение высокой точности поверхности.
Применение: Берилий, аморфный кварц, фосфид индия (InP), ниобат лития (LiNbO3), Танталат лития (LiTaO3), кремний (Si), нержавеющая сталь, вольфрам (W), зеродур
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| войлок | 13% | 55 | Shore D | 0,050" (1,27 мм) |
GS Polishing Pad 0.150"
Пропитанный полиуретаном нетканый войлок
GS - это нетканый материал, который сочетает в себе однородную, умеренно проницаемую пористую структуру с прочной плотной основой. GS идеально подходит для агрессивных процессов полировки. Материал GS особенно эффективен для замены шерсти и других натуральных полотен для полировки благодаря своей превосходной прочности и устойчивости к биологическому росту. GS рекомендуется для полировки стекла, зеркал, керамики и акрила.
Область применения: Акрил, стекло, Керамика, Zerodur
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| войлок | 5% | 45 | Shore D | 0,150" (3.8 мм) |
GS Polishing Pad 0.150"
Пропитанный полиуретаном нетканый войлок
GS - это нетканый материал, который сочетает в себе однородную, умеренно проницаемую пористую структуру с прочной плотной основой. GS идеально подходит для агрессивных процессов полировки. Материал GS особенно эффективен для замены шерсти и других натуральных полотен для полировки благодаря своей превосходной прочности и устойчивости к биологическому росту. GS рекомендуется для полировки стекла, зеркал, керамики и акрила.
Область применения: Акрил, стекло, Керамика, Zerodur
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| войлок | 5% | 45 | Shore D | 0,150" (3.8 мм) |
Optivision™
Подушки Optivision ™ - это полировальные диски последнего поколения, используемые на этапе окончательной полировки.
Optivision 4540 имеет двухпористую структуру; комбинация мелких пор, рассеянных среди более крупных пор. Эта пористая структура выгодна по сравнению с другими полировочными подушками из-за увеличенного количества точек контакта. Увеличение площади контакта и количества точек контакта приводит к снижению дефектности, увеличению скорости удаления и улучшению качества поверхности.
Применение: ХМП меди, аморфный кварц, германий, TEOS
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Толщина |
| пористый полимерный материал | 12% | 0,060" (1,52 мм) |
Optivision™
Подушки Optivision ™ - это полировальные диски последнего поколения, используемые на этапе окончательной полировки.
Optivision 4540 имеет двухпористую структуру; комбинация мелких пор, рассеянных среди более крупных пор. Эта пористая структура выгодна по сравнению с другими полировочными подушками из-за увеличенного количества точек контакта. Увеличение площади контакта и количества точек контакта приводит к снижению дефектности, увеличению скорости удаления и улучшению качества поверхности.
Применение: ХМП меди, аморфный кварц, германий, TEOS
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Толщина |
| пористый полимерный материал | 12% | 0,060" (1,52 мм) |
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
