DuPont® IC1010™ полировальная подушка для планаризации
Промышленный стандарт для химико-механической планаризации
Подушки IC1010 ™ - это стандартные полировальные круги для химико-механической планаризации (CMP). Полировальная подушка IC1010 изготовлена из жесткого микропористого полиуретанового материала. Эти свойства позволяют подушке IC1010 обеспечивать локализованное выравнивание, отличную скорость съема, низкую глобальную неоднородность и низкий уровень дефектов. IC1010 имеет больший срок службы по сравнения IC1000. Подушечки IC1010 эффективно работают с суспензиями и кондиционерами, чтобы оптимизировать производительность CMP в процессах производства вольфрама, меди, ILD, STI и поликремния.
Конфигурация продукта
Толщина
Стандартная толщина подушки IC1010 составляет 80 мил (2,00 мм).
Окно определение окончания процесса
Подушки (сукна) IC1010 предлагаются с прозрачным уретановым окном для использования технологии оптических оконечных устройств в передовых инструментах CMP. Усовершенствованные оптические контактные площадки для оконечных устройств имеют окно, которое прикреплено к контактной площадке IC1010 для предотвращения утечки суспензии и расслоения окон во всех процессах CMP.
Канавки (проточки) сукна.
Подушка IC1010 предлагается с широким разнообразием рисунков канавок на поверхности сукна. Проконсультируйтесь с вашим местным представителем по поводу шаблона, который будет соответствовать потребностям ваших приложений CMP.
Область применения: берилий, германий, фосфид индия (InP), никель, поликремний (PolySi), сапфир, карбид кремния (SiC), вольфрам, селенид цинка (ZnSe).
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| Полиуретан | 2,25% | 57 | Shore D | 0,08" (2,0мм) |
DuPont® IC1000™ полировальная подушка для планаризации
Промышленный стандарт для химико-механической планаризации
Подушки IC1000 ™ - это стандартные полировальные круги для химико-механической планаризации (CMP). Полировальная подушка IC1000 изготовлена из жесткого микропористого полиуретанового материала. Эти свойства позволяют подушке IC1000 обеспечивать локализованное выравнивание, отличное удаление...
Область применения: берилий, германий, фосфид индия (InP), никель, поликремний (PolySi), сапфир, карбид кремния (SiC), вольфрам, селенид цинка (ZnSe).
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| полиуретан | 2,25% | 57 | Shore D | 0,05" (1.27мм) |
DuPont® IC1000™ полировальная подушка для планаризации
Промышленный стандарт для химико-механической планаризации
Подушки IC1000 ™ - это стандартные полировальные круги для химико-механической планаризации (CMP). Полировальная подушка IC1000 изготовлена из жесткого микропористого полиуретанового материала. Эти свойства позволяют подушке IC1000 обеспечивать локализованное выравнивание, отличное удаление...
Область применения: берилий, германий, фосфид индия (InP), никель, поликремний (PolySi), сапфир, карбид кремния (SiC), вольфрам, селенид цинка (ZnSe).
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| полиуретан | 2,25% | 57 | Shore D | 0,05" (1.27мм) |
MHS15A050
Усовершенствованная полиуретановая подушка для полировки кремния.
Полировальные диски MH специально разработаны для полировки и финишной обработки широкого спектра поверхностей, где критически важны плоскостность и сверхточная обработка поверхности. Сукном можно обрабатывать такие материалы как стеклянные поверхности, керамические компоненты, прецизионные линзы, полупроводниковые пластины и алюминиевые диски....
Область применения: Кремний, Берлий, Cadmium Zinc Telluride (CdZnTe или CZT) - теллурид кадмия, фтористый кальций, кварц, ниобат лития (LiNbO3), Танталат лития (LiTaO3), сапфир, нержавеющая сталь, карбид кремния (SiC)
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| полиуретан | 3,05% | 84 | JIS | 0,050" (1,27 мм) |
MHS15A050
Усовершенствованная полиуретановая подушка для полировки кремния.
Полировальные диски MH специально разработаны для полировки и финишной обработки широкого спектра поверхностей, где критически важны плоскостность и сверхточная обработка поверхности. Сукном можно обрабатывать такие материалы как стеклянные поверхности, керамические компоненты, прецизионные линзы, полупроводниковые пластины и алюминиевые диски....
Область применения: Кремний, Берлий, Cadmium Zinc Telluride (CdZnTe или CZT) - теллурид кадмия, фтористый кальций, кварц, ниобат лития (LiNbO3), Танталат лития (LiTaO3), сапфир, нержавеющая сталь, карбид кремния (SiC)
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| полиуретан | 3,05% | 84 | JIS | 0,050" (1,27 мм) |
GS Polishing Pad 0.180"
Пропитанный полиуретаном нетканый войлок
GS - это нетканый материал, который сочетает в себе однородную, умеренно проницаемую пористую структуру с прочной плотной основой. GS идеально подходит для агрессивных процессов полировки. Материал GS особенно эффективен для замены шерсти и других натуральных полотен для полировки благодаря своей превосходной прочности и устойчивости к биологическому росту. GS рекомендуется для полировки стекла, зеркал, керамики и акрила.
Область применения: Акрил, стекло, Керамика, Zerodur
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| войлок | 5% | 45 | Shore D | 0,180" (4.5 мм) |
GS Polishing Pad 0.180"
Пропитанный полиуретаном нетканый войлок
GS - это нетканый материал, который сочетает в себе однородную, умеренно проницаемую пористую структуру с прочной плотной основой. GS идеально подходит для агрессивных процессов полировки. Материал GS особенно эффективен для замены шерсти и других натуральных полотен для полировки благодаря своей превосходной прочности и устойчивости к биологическому росту. GS рекомендуется для полировки стекла, зеркал, керамики и акрила.
Область применения: Акрил, стекло, Керамика, Zerodur
| Базовый материал | Коэффициент сжимаемости | Твердость | Испытание твёрдости | Толщина |
| войлок | 5% | 45 | Shore D | 0,180" (4.5 мм) |
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
