200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
.c72.png)
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
FOUP ручка для открытия кассеты - это простой инструмент для ручного открытия 300-мм пластины FOUP. Требует двуручного управления, прост в использовании. Конструкция ручки также служит штативом для поддержания чистоты внутренней части двери.
FOUP ручка для открытия кассеты - это простой инструмент для ручного открытия 300-мм пластины FOUP. Требует двуручного управления, прост в использовании. Конструкция ручки также служит штативом для поддержания чистоты внутренней части двери.
.c72.png)
Дверной ключ FOUP / Ключ FOUP / Устройство открывания двери FOUP. Двери FOUP легко открываются.
Дверной ключ FOUP / Ключ FOUP / Устройство открывания двери FOUP. Двери FOUP легко открываются.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
