FOUP / FOSB / SMIF Pod

300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.

300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.

300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.

300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.

Поднимите ручку позиционирования. Поместите адаптер в FOUP. Для обработки 8-дюймовой пластины на 12-дюймовом FOUP. Обработка 8-дюймовой пластины на 12-дюймовом технологическом оборудовании.

FOUP ручка для открытия кассеты - это простой инструмент для ручного открытия 300-мм пластины FOUP. Требует двуручного управления, прост в использовании. Конструкция ручки также служит штативом для поддержания чистоты внутренней части двери.

Дверной ключ FOUP / Ключ FOUP / Устройство открывания двери FOUP. Двери FOUP легко открываются.

200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.

FOSB (передняя открытая упаковочная коробка). Применение: Переносить пластины на фабрику. Предназначено только для транспортировки, чтобы предотвратить столкновение пластин и трение. 25 слотов, используемых для базовой пластины; В 7 и 13 слотах можно хранить стеклянные и тонкие пластины. 12” FOSB используется в оборудовании полной автоматизации SEMI. (AMHS).

Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.

Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.