300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.
Серия продуктов CKplas H300 / H313 FOUP полностью соответствует стандарту автоматизации интерфейса SEMI, совместимому с AMHS. CK300 FOUP не только разработана для стандартной кремниевой пластины, но и для специального хранения тонких пластин, создает мини-среду для защиты хрупкой пластины при передаче и хранении.
| Мы можем настроить продукт в зависимости от требований клиента к различным производственным процессам. | ||||
| Тип пластины | Стандартная | Тонкая | ||
| Тип процесса | Общий процесс | Материал с низким влагопоглощением | Общий процесс | |
| Модель | H300-S1 | H300-L1 | H313-S1 | H313-S2 |
| Вместимость | 25 слотов | 25 слотов | 13 слотов | 13 слотов |
| Вес | 5.6 кг | 6.2 кг | ||
| Основной материал | PC ESD | CBM ESD | PC ESD | PC ESD |
| Заднее окошко | Прозрачное окно | Черное окно | Прозрачное окно | Черное окно с поддержкой задней части |
| Допуск температуры | ≦ 80°C | ≦ 80°C | ||
| Расстояние воздушной подушки | 160x250mm | 160x250mm | ||
| RUN CARD | v | v | v | v |
| RFID | v | v | v | v |
| Тип пластины | Тонкая пластина | |||
| Тип процесса | Общий процесс | Материал с низким влагопоглощением | Высокотемпературный процесс | |
| Модель | H313-S3 | H313-L1 | H313-L2 | CK313HT |
| Вместимость | 13 слотов | 13 слотов | 13 слотов | 13 слотов |
| Вес | 6 кг | 5 кг | 6 кг | 6.6 кг |
| Основной материал | PC ESD | CBM ESD | CBM ESD | PEI ESD |
| Заднее окошко | Видеть через окно с поддержкой задней части | Черное окно | Черное окно с поддержкой задней части | ESD съемное воздухонепроницаемое черное окно |
| Допуск температуры | ≦ 60°C | ≦ 80°C | ≦ 80°C | ≦ 150°C |
| Расстояние воздушной подушки | 160x250mm | 160x260mm | ||
| RUN CARD | v | v | v | x |
| RFID | v | v | v | x |
Поднимите ручку позиционирования. Поместите адаптер в FOUP. Для обработки 8-дюймовой пластины на 12-дюймовом FOUP. Обработка 8-дюймовой пластины на 12-дюймовом технологическом оборудовании.
Поднимите ручку позиционирования. Поместите адаптер в FOUP. Для обработки 8-дюймовой пластины на 12-дюймовом FOUP. Обработка 8-дюймовой пластины на 12-дюймовом технологическом оборудовании.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
FOUP ручка для открытия кассеты - это простой инструмент для ручного открытия 300-мм пластины FOUP. Требует двуручного управления, прост в использовании. Конструкция ручки также служит штативом для поддержания чистоты внутренней части двери.
FOUP ручка для открытия кассеты - это простой инструмент для ручного открытия 300-мм пластины FOUP. Требует двуручного управления, прост в использовании. Конструкция ручки также служит штативом для поддержания чистоты внутренней части двери.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
