Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
.jpg)
.c72.png)
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
FOSB (передняя открытая упаковочная коробка). Применение: Переносить пластины на фабрику. Предназначено только для транспортировки, чтобы предотвратить столкновение пластин и трение. 25 слотов, используемых для базовой пластины; В 7 и 13 слотах можно хранить стеклянные и тонкие пластины. 12” FOSB используется в оборудовании полной автоматизации SEMI. (AMHS).
FOSB (передняя открытая упаковочная коробка). Применение: Переносить пластины на фабрику. Предназначено только для транспортировки, чтобы предотвратить столкновение пластин и трение. 25 слотов, используемых для базовой пластины; В 7 и 13 слотах можно хранить стеклянные и тонкие пластины. 12” FOSB используется в оборудовании полной автоматизации SEMI. (AMHS).
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
