Коробка для рамок - Изоляция для защиты пластины. Антистатический материал, легкий вес, конструкция с усиленной структурой может эффективно продлить срок службы изделия. Использовать для передачи между процессами, нельзя использовать в химическом процессе.
| Размер пластины | Артикул | Размеры |
| 8" коробка для рамок | FR-B200-P | 291.0(Д) x 226.0(Ш) x 308.5(В) мм |
| 8" коробка для рамок(ESD) | FR-B200-E | 291.0(Д) x 226.0(Ш) x 308.5(В) мм |
| 12" коробка для рамок | FR-B300-C | 397.5(Д) x 227.5(Ш) x 416.3(В) мм |
| 12" коробка для рамок(ESD) | FR-B300-E | 397.5(Д) x 227.5(Ш) x 416.3(В) мм |
Панельный лоток из тефлона / Панельный лоток из PFA (200 мм / 8 дюймов)， Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивый к сильным воздействиям， Для кислотных и щелочных процессов. Химический процесс. Контейнер для загрузки пластин.
Панельный лоток из тефлона / Панельный лоток из PFA (200 мм / 8 дюймов)， Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивый к сильным воздействиям， Для кислотных и щелочных процессов. Химический процесс. Контейнер для загрузки пластин.
Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
200 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 200 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством. Поддержка функции AMHS, размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для решения по загрузке пластин и автоматизации.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
