Для базового процесса. Панельный носитель используется для перемещения между станцией и станцией. Обеспечить подходящие характеристики полимерного композиционного материала в соответствии с потребностями клиента. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
| Матариал | Степень термостойкости | Свойство | Назначение |
| PFA Кассета | 200~220℃ | Сильная кислота, сильная плавиковая кислота, устойчивая к сильным основаниям | Для кислотного и базового процесса |
| PP Кассета | 40~60℃ | Плюсы: легкий вес, возможность сварки. Минусы: легко искажается |
Для базового процесса передачи |
| PEEK Кассета | 120℃ | Высокая твердость, сложно деформируется, устойчива к высоким температурам | |
| PC Кассета | 80~100℃ | Легкий вес, возможность сварки | |
| PEI Кассета | 130~150℃ | Износостойкая, антистатическая |
PEEK Cassette-Для базового процесса. Контейнер для загрузки вафель. Не легко исказить и высокую твердость. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
PEEK Cassette-Для базового процесса. Контейнер для загрузки вафель. Не легко исказить и высокую твердость. Это может совмещаться с герметичной коробкой для хранения, чтобы защитить панели.
.c72.png)
PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.
PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.
.c72.png)
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
Контейнер SMIF для пластин может хранить кассету с пластинами внутри, обеспечивать защиту пластин во время транспортировки и хранения. Размеры соответствуют стандарту SEMI, обеспечивают высокую степень чистоты для установки и автоматизации пластин, которое можно использовать в автомате SEMI Auto ALU.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
