| Название продукта | Размер | Артикул | Вместимость | Разница |
| Кассета для легких рамок | 300 мм | FR-C300-L | 13 штук |
Дверь с подвижным типом |
| Кассета для легких рамок(OHT) | 300 мм | FR-C300-O | 13 штук | |
| Кассета для легких рамок воздухонепроницаемая | 200 мм | FR-C200-A | 25 штук | Дверной раскладушка |
PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.
PFA кассета / Teflon кассета, Конденсатор пластины, может быть изготовлен по индивидуальному заказу и спроектирован по желанию клиента, способен противостоять сильной кислоте, сильной плавиковой кислоте, сильном нагреву до 200 ~ 220 ℃, используется для доставки пластин в кислотном и базовом процессе.
300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.
300 мм FOUP, способен защищать, доставлять и хранить пластины 300 мм, обеспечивать надежную защиту при доставке и хранении. Уменьшает загрязнение пластин частицами, защищает пластину от повреждения статическим электричеством.
Металлический каркас для доставки пластин - защитить одну раму от повреждения.
Металлический каркас для доставки пластин - защитить одну раму от повреждения.