Установки SST (Spray Solvent Tool) обработки пластин в растворителяx (Китай)

Системы SST отмывки и сушки имеют высокую производительность и обеспечивают качественный и экономичный отмыв и сушку пластин.  Сменные роторы позволяют работать с различными размерами подложек, например, 60х48 мм, 76 мм, 100 мм, 150 мм и 200мм, фотошаблоны 76х76 мм, 102х102 мм, 127х127 мм, 178х178 мм. 

Камера: Усовершенствованная технология нанесения покрытий распылением, герметичная камера изолирует оператора от химических веществ, обеспечивая безопасность работы.
Конструкция на оси: унифицированный, повторяемый и гибкий процесс.
Высокая производительность: в одну камеру можно загружать до 25 шт. пластин, в две камеры - до 50 шт. пластин.

Применение: 

• Stripper/Developer (Очиститель/проявка).
• Удаление органических веществ и очистка от проявляющих/удаляющих адгезивов.
• Очистка от остатков травления, очистка перед процессом диффузии.
• Химическая очистка с использованием химикатов или без них.
• Очистка полимеров.

Запатентованная технология ротационного распыления: SST. Для распыления органических растворителей используются два типа обычных жидких средств с 7 насадками по 25 штук и 14 насадками по 50 штук в камере из нержавеющей стали.;
Камера SAT из ПТФЭ с 36 насадками для подачи жидкости на 25 пластин и 72 насадками для подачи жидкости на 50 пластин используется для мокрого нанесения сильнокислотных химикатов;
При динамическом вращении пластина более равномерно контактирует с химическим раствором в форме веера, напоминающего туман Используйте центробежную силу для улучшения промывочной способности, уменьшения количества частиц и загрязнения Благодаря использованию технологии одновременного вращения и распыления неравномерность пластины во время процесса уменьшается менее чем до 3%

Ключевые преимущества

• Непрерывный переход между этапами процесса
• Химическая среда динамично и плавно соприкасается с поверхностью чипа
• Распыление химической среды из верхнего сопла при вращении может обеспечить общую однородность, а также однородность краев, контактирующих с кассетой, в соответствии со средней областью.
• Химический раствор покрывает поверхность пластины без каких-либо мертвых углов, и эффект перепада температур отсутствует
• Закрытая камера, не допускающая испарения химических веществ, более безопасна для организма человека
• На 80% сокращается количество химикатов и жидкости для отмывки
• На 80% сокращается площадь рабочей поверхности
• Процесс сушки при загрузке и выгрузке
• Высокая совместимость размеров и гибкость в эксплуатации
• Автоматическое добавление смешанного химического раствора (по мере необходимости)

Область применения

• Производство полупроводников
• Фотолитография (очистка фотошаблонов)
• Исследовательские лаборатории
• Микроэлектроника и MEMS
• Производство пластин (Si, SiC, GaN, GaAs, Ge, Сапфир, InP и др)

Особенности

• Высокая производительность
• Кассетная загрузка
• Химически стойкое исполнение
• Встроенный сенсорный дисплей
• Сменные роторы для работы с различными размерами подложек
• Сушка азотом
• Встроенный нагреватель азота
• Встроенный датчик сопротивления до 18 MΩ
• Блок антистатики
• Автоматическая блокировка дверцы 

Почему выбирают Semiclean?

✅ Проверенное качество – оборудование используется на ведущих предприятиях
✅ Гибкость настроек – адаптация под техпроцесс заказчика
✅ Сервисная поддержка – гарантия, обучение, ТО, сервисный центр в Москве