Система анализа микроструктур Axalit на базе микроскопа NX600TR (Nexcope)

Система анализа микроструктур Axalit на базе микроскопа NX600TR (Nexcope).

Применение: инспекция пластин и фотошаблонов, измерение критических размеров в прямом отраженном свете и проходящем свете (светлое поле, темное поле).

Пластины диаметром до 150 мм. 

Комплектация микроскопа Nexcope NX600TR 

• Диапазон увеличений: от 50х до 1000х;
• Принцип работы: отраженный свет и проходящий свет
• Методы освещения: светлое поле, темное поле
• Осветитель: галогеновый;
• Турель объективов: ручная, 6 позиций;
• Тип объективов: планполуапоахроматические (флуотары);
• Предметный столик: ручной, ход 160х160;
• Фокусировка: ручная, грубо/точно;
• Цифровая камера,Камера 5М (CMOS)
• Рабочая станция;
• Программное обеспечение AXALIT для проведения измерений линейных размеров (внесено в реестр СИ) 

КОМПЛЕКТАЦИЯ:

Основной корпус: 3 Вт светодиод, отраженный и проходящий свет

Окуляр: SW10X/22

Визуальная головка: тринокулярная визуальная головка, наклоненная на 30°, межзрачковое расстояние 47-78 мм, отношение деления луча 100/0, 0/100

С mount: 0,5X С mount

Револьверная головка: кодированная шестикратная револьверная головка

Объектив NIS45: BF&DF:         5x NA=0,15 WD=20

                                             10x NA=0,3 WD=11

                                             20x NA=0,45 WD=3,0

                                             50x NA=0,5, WD=10,6

                                             100x NA=0,9 WD=1

Конденсор: конденсор LWD, 3 Вт светодиод

Стол: 6-дюймовый столик, диапазон перемещения 160 мм*160 мм

Столовое стекло 174*160*5,8

Стол для пластин, подходит для 6-дюймовых пластин

Освещение EPI: осветитель, белый светодиод 5 Вт, 3500 К

 Модуль светлого поля, модуль темного поля, матовое стекло

Аксессуары: фильтр ND6,    фильтр ND25

CMOS цифровая камера 5Mpx и ПО AXALIT.  (внесено в реестр СИ)

Брошюра Nexcope общая в PDF

Микроскоп доступен к поставке в течение недели!

Опционально: антивибрационная платформа DVIA-T67 от DAEIL SYSTEM. (700x600x95 мм, до 150 кг.)

Также его можно посмотреть в нашем демо зале по адресу компании.