Установки SAT (Spray Acid Tool) обработки пластин в кислотах (Китай)

Системы SAT отмывки и сушки имеют высокую производительность и обеспечивают качественный и экономичный отмыв и сушку пластин.  Сменные роторы позволяют работать с различными размерами подложек, например, 60х48 мм, 76 мм, 100 мм, 150 мм и 200мм, фотошаблоны 76х76 мм, 102х102 мм, 127х127 мм, 178х178 мм. 

Камера: Усовершенствованная технология нанесения покрытий распылением, герметичная камера изолирует оператора от химических веществ, обеспечивая безопасность работы.
Конструкция на оси: унифицированный, повторяемый и гибкий процесс.
Высокая производительность: в одну камеру можно загружать до 25 шт. пластин, в две камеры - до 50 шт. пластин.

Применение: 

• Etching/cleaning metal etching (endpoint detection)
• Third-generation semiconductor Material etching
• Oxide etching
• Silicon etching
• Chromium etching
• Nitride etching
• UBM etching
• Glass etching
• HF (hydrofluoric acid) cleaning

Результат работы: 

Ключевые преимущества

• Непрерывный переход между этапами процесса
• Химическая среда динамично и плавно соприкасается с поверхностью чипа
• Распыление химической среды из верхнего сопла при вращении может обеспечить общую однородность, а также однородность краев, контактирующих с кассетой, в соответствии со средней областью.
• Химический раствор покрывает поверхность пластины без каких-либо мертвых углов, и эффект перепада температур отсутствует
• Закрытая камера, не допускающая испарения химических веществ, более безопасна для организма человека
• На 80% сокращается количество химикатов и жидкости для отмывки
• На 80% сокращается площадь рабочей поверхности
• Процесс сушки при загрузке и выгрузке
• Высокая совместимость размеров и гибкость в эксплуатации
• Автоматическое добавление смешанного химического раствора (по мере необходимости)

Область применения

• Производство полупроводников
• Фотолитография (очистка фотошаблонов)
• Исследовательские лаборатории
• Микроэлектроника и MEMS
• Производство пластин (Si, SiC, GaN, GaAs, Ge, Сапфир, InP и др)

Особенности

• Высокая производительность
• Кассетная загрузка
• Химически стойкое исполнение
• Встроенный сенсорный дисплей
• Сменные роторы для работы с различными размерами подложек
• Сушка азотом
• Встроенный нагреватель азота
• Встроенный датчик сопротивления до 18 MΩ
• Блок антистатики
• Автоматическая блокировка дверцы 

Почему выбирают нас?

✅ Проверенное качество – оборудование используется на ведущих предприятиях
✅ Гибкость настроек – адаптация под техпроцесс заказчика
✅ Сервисная поддержка – гарантия, обучение, ТО, сервисный центр в Москве