Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP10 от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Максимальная температура: 300 oC
Ручное управление с кнопок
Управление с кнопок
| Размер подложки | от 5х5 мм до 220x220 мм |
| Максимальная температура | 300 oC |
| Диапазон температуры | Комнатная до 300 oC |
| Разрешение температуры | 0.1 oC |
| Точность контроля температуры | ±1 oC |
| Управление | ПКнопками |
| Плита | алюминий |
| Электропитание | 100V, 50/60Hz |
| Размеры | 250×270×220 мм. |
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP100-PA от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Цифровой 7" PLC дисплей
Максимальная температура: 300 oC
Lift-pins
Продувка азота под крышку
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP100-PA от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Цифровой 7" PLC дисплей
Максимальная температура: 300 oC
Lift-pins
Продувка азота под крышку
Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор
Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
