Четырехзондовая полуавтоматическая установка измерения удельного сопротивления слоев, Eplec-RC

Четырехзондовая полуавтоматическая установка измерения удельного сопротивления слоев, Eplec-RC

Eplec-RC - установки четырехзондового измерения (4-point probe) - измерение удельного и поверхностного сопротивления четырехзондовым методом на полупроводниковых пластинах Si, GaAs, InP, Ge, SiC, Сапфира и др. производства PLSINTEC CORPORATION (Китай). 

Измерение (картирование) на пластинах диаметром от 52 мм (2") до 200 мм (8") и толщиной до 4 мм.  

Проводящая бумага и проводящий текстиль

Измеряемые параметры:

• Диапазон измерений: 1 mΩ/sq-200 MΩ/sq
• Высокая точность – ±1%.
• Воспроизводимость (1σ) -  < 0,2%
• Столик до 200х200 мм
• Толщина пластин: 70 мкм до 4 мм.

Комплектация установки Eplec-RC 

• Установка четырехзондового измерения удельного и поверхностного сопротивления модели Eplec-RC

• Зонд типа A (для металлических пленок): Расстояние между 4-точечными зондами: 1,016 мм, радиус наконечника -0,04 мм

• Зонд типа В (общего назначения для имплантации, легированный поликремний, силициды и эпитаксия): Расстояние между 4-точечными зондами: 1,016 мм, радиус наконечника - 0,1 мм.

  *Включает в себя два стандартных эталонных образца для измерений: 2,8 Ом (эталонный образец RPAC-A) и 280 Ом (эталонные образцы RPAC-B)

• Платформа (столик) с автоматическим перемещением 200x200 мм и держатель. Поддерживает пластины до 8 дюймов и совместим с 2-дюймовыми, 3-дюймовыми, 4-дюймовыми и 6-дюймовыми пластинами.

• Компьютерная система. Настройка программного обеспечения для обнаружения (программное обеспечение для 4-точечных зондов), системы управления базами данных и поддержка экспорта отчетов в формате PDF и Excel с редактируемыми шаблонами.

• Прецизионный источник-измеритель.