Инспекционные УФ (UV) микроскопы Leica DM8000/DM12000

Прямой инспекционный УФ микроскоп проходящего и падающего света Leica DM800 / DM12000

Прямой ультрафиолетовый (UV) микроскоп Leica DM8000 / DM12000 для контроля полупроводниковых пластин в микроэлектронике.

Микроскоп DM8000 позволяет работать на сверхпредельном оптическом разрешении, благодаря освещению УФ 365нм и косому освещению. Пользователь может различить видимые структуры в 160 нм.

Максимальный размер образца: 200 х 200 мм / 300 x 300 мм
Наблюдение образцов можно проводить в отраженном свете.
УФ освещение (365 нм)
Косое освещение
Инфракрасное освещение (ИК) для контроля девектов в пластине
Методы контрастирования: светлое, темное поле, поляризация, ДИК, ультрафиолетовое освещение UV и OUV, наклонное освещение, макро режим, ИК

Идеальное решение для контроля полупроводниковых пластин и фотошаблонов как в произвосдтве так и в процессе исследований.

Инспекционные микроскопы Leica DM800 / DM12000 предназначены для изучения и контроля качества интегральных схем. Leica DM800 / DM12000 - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм / 300 мм при эпископическом и диаскопическом освещении. Встроенный в предметный столик источник ближнего инфракрасного освещения обеспечивает проведение исследований дефектов внутри кремниевой пластины.

Самостоятельно или в комбинации с загрузчиком пластин микроскопы серии  обеспечивают исключительную точность в процессе оптического контроля полупроводниковых пластин, фотошаблонов, сеток и прочих подложек.

Возможные методы исследования:
Светлое поле
Темное поле 
ДИК
Поляризация
Ультрафиолетовое освещение UV и OUV
Наклонное освещение
Макро режим
ИК (инфракрасное освещение)

Применение: 
Антенны, Телекоммуникации и электроника, Полупроводниковые пластины, Фотошаблоны, Оптические телескопические системы, Мобильные телефоны, бритвы и часы.

Особенности

• Светодиодное освещение, интегрированное в микроскоп поддерживает все режимы контрастирования с постоянной цветовой температурой и работает до 20 000 часов

• Возможность работы в проходящем и отраженном свете

• Моторизированная или ручная система фокусировки

• Увеличение от 7х до 1500х, опционально до 3000х

• Работа в макро режиме при помощи объектива 0.7х, апертурой 0.02, рабочей дистанцией 7.2мм, диаметром 32мм.

• Набор полуапохроматических и апохроматических объективов (0.7х, 10х, 20х, 50х, 100х, 150x)

• Инспекционный ручной стол размером 8” с ходом 202х202мм, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 8” с ходом 202х202мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм

• Инспекционный ручной стол размером 12” с ходом 302х302мм, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 12” с ходом 302х302мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм

• Держатели пластин на 6-8” или 8-12” с возможность установки вакуума и держателя маски

• Программное обеспечение  позволяет проводить геометрические измерения, создавать панорамные изображение с повышенной глубиной фокуса и просматривать полученные изображения. В базовом наборе рекомендуем приобретать модуль для линейных измерений, модуль для автофокуса и модуль для получения панорамных изображений по XY.

• Виброизоляция: платформы Accurion Halcyonics_i4.

• Axalit - Программное обеспечение для анализа изображений

• Сшивка изображений (большое изображение) - сшивает несколько изображений для увеличения поля зрения. Полученные ранее изображения также могут быть сшиты вместе.

• Измерение вручную и аннотирование изображений - Ручное измерение обеспечивает быстрое измерение длины и площади путем проведения линий или выделения объекта прямо на изображении.Результат измерений можно прикрепить к изображению или экспортировать в текстовый документ или таблицу Excel.

Брошюра Leica DM800 / DM12000 в PDF