Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP10 от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Максимальная температура: 300 oC
Ручное управление с кнопок
Управление с кнопок
| Размер подложки | от 5х5 мм до 220x220 мм |
| Максимальная температура | 300 oC |
| Диапазон температуры | Комнатная до 300 oC |
| Разрешение температуры | 0.1 oC |
| Точность контроля температуры | ±1 oC |
| Управление процессом | до 30 шагов |
| Управление | С кнопок |
| Плита | алюминий |
| Электропитание | 220V, 50/60Hz |
Кварцевые QSM датчики для PVD машин (Inficon)
Кварцевые QSM датчики для PVD машин (Inficon)
УФ пленка для монтажа пластины перед дисковой резкой, UV Tape
УФ пленка для монтажа пластины перед дисковой резкой, UV Tape
Система анализа микроструктур Axalit на базе микроскопа NX800TR (Nexcope).
Применение: инспекция пластин и фотошаблонов, измерение критических размеров в прямом отраженном свете и проходящем свете (светлое поле, темное поле).
Пластины диаметром до 200 мм.
Система анализа микроструктур Axalit на базе микроскопа NX800TR (Nexcope).
Применение: инспекция пластин и фотошаблонов, измерение критических размеров в прямом отраженном свете и проходящем свете (светлое поле, темное поле).
Пластины диаметром до 200 мм.